ebara真空泵维修 ESA70W

特点与优势
拥有成本低[功率，N2，水，占地面积，体积，重量]
可变抽速以满足应用需求
增压泵上的高性能无刷直流电机
较先进的控制和监视设备
可以采用空闲模式以节省更多的设备
SEMI S2评估，NRTL认证，CE认证
应用领域
（适用于ESA25-100型）是轻气泵MOCVD处理的理想选择
（适用于ESA200-500型）是大容量大气，负载锁定过程的理想选择